鈦靶、鋯靶、鎳靶、鉻靶

       鉿的原子序數(shù)72，原子量178.49，熔點(diǎn)2227℃，沸點(diǎn)4602℃，密度13.31g/cm3，單質(zhì)是一種帶光澤的銀灰色的過(guò)渡金屬，鉿不與稀鹽酸、稀硫酸和強(qiáng)堿溶液作用，但可溶于氫氟酸和王水。

       鉿濺射靶材的應(yīng)用：引入氧氣分壓，可以用磁控濺射或反應(yīng)濺射鉿濺射靶，制備氧化鉿薄膜。所得薄膜可用于多種用途，包括用于光子學(xué)的光學(xué)涂層、薄膜電阻、耐腐蝕性、核產(chǎn)品、集成電路中的柵極絕緣體和傳感器。